锅炉的蒸发会导致杂质浓缩。锅炉中的垢在热交换表面的沉积，或悬浮物质沉积在金属表面上，变硬、变粘。锅炉中的高温会分解一些矿物质，引起其它物质溶解度降低。
水中的杂质和沉积物会导致结垢和沉积物，如:二氧化硅、悬浮物，或溶解的铁、油和其它工艺污染物。
溶解的钙和镁的重碳酸根受热会分解释放出二氧化碳，并形成不溶性的碳酸盐。
二氧化硅通常在水中不会大量出现，但在某种条件下会形成硬垢。尤其是在原水处理不彻底的情况下，胶体硅进入化学水系统，且不能被离子交换工艺去除，必然进入锅炉系统，必然增大硅垢形成的趋势，从而降低蒸汽的品质。
硅酸化合物在水中的溶解度很小，其中溶解性的硅酸称为活性硅(或溶硅)，而大部分却在水中进行聚合而成为双分子或三分子聚合物， 成为完全不溶解的多分子聚合物，即称为胶体硅。它们在水中处于动平衡状态，并随pH值而变化，当pH值高时，较多转变为可溶性硅。因此控制炉水的pH>9.5相当关键。硅酸化合物存在于水和蒸汽中的危害很大，一旦进入锅炉后，胶体硅随着压力及pH值升高而转化为溶硅，从而使炉水中的含硅量不断增加，有时即使加大排污量也难以改变炉水含硅量，同时，硅酸在高温的蒸汽中有较大的溶解度，并随压力、温度的升高而溶解度不断增大，因此，进入锅炉的硅酸在炉内的沉积虽然不多，却大部分被蒸汽带走，硅酸随着蒸汽的做功过程，温度、压力的降低，而溶解度降低，因此就沉在汽轮机的叶片或喷嘴中形成质硬的硅酸盐垢，严重时，可使气压机效率大幅度下降，阻塞通道，限制出力，影响气压机的生产，为此，必须控制给水的含硅量，并使用化学品防止炉水的夹带。
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因此，在臭氧·过氧化氢并用处理中，为了抑制BrO3 -的生成，过 氧化氢相对臭氧注入率过剩注入，或监测处理水的过氧化氢浓度，控 制过氧化氢注入量，使过氧化氢充分残留是必需的。另外，即使过氧 化氢不足，BrO3 -的生成量增大，溶解的臭氧也几乎未被检出，故过氧 化氢的严重不足，通过处理水的溶解臭氧浓度监测是不可能的。
图1示出对水温20℃的被处理水进行臭氧处理时的臭氧注入率与 处理水的溶解的臭氧浓度及BrO3 -的浓度的关系的结果。溶解的臭氧浓 度，当臭氧的注入率达到某个值时而无法检出，当超过某个值时可以 检出，臭氧注入率愈大，溶解的臭氧浓度愈高。该溶解的臭氧浓度可 以开始检出时的臭氧注入率称作臭氧需要量。使臭氧注入率比臭氧需 要量大，溶解的臭氧浓度被检出为0.1mg/L时，臭氧注入率为0.9mg/L， 生成3μg/L BrO3 -。
