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随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400~450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。
双金属复合衬板的结构独特,性能优异,因而到了广泛关注。研究发现石墨烯可以用于制备量子点和电子器件,石墨烯量子点用做单电子晶体板的库仑岛,可以显著提高单电子晶体板的效能,在量子开关等方面具有巨大的应用价值。用 性原理计算的方法,研究了石墨烯量子点作为单电子晶体板的库仑岛时,量子点的本征属性对单电子晶体板的性能的影响。近的实验成功制备出了双金属复合衬板。
考虑到近来t-BN被认为是解决双金属复合衬板结致密化困难的一个有效途径,我们以尿素、硼酸为原料合成一种六方氮化硼,即t-BN(turbostratic boron nitride)粉体。用XRD、SEM及激光粒度分析等手段对所制备氮化硼粉体进行研究。发现所制备的氮化硼粉体是较纯的t-BN,且为平均粒径在亚微米尺寸的球形颗粒。 同时本文探讨了以双金属复合衬板为添加剂,在略高于一个大气压的N2气氛下,于1700℃~1850℃左右进行无压烧结。研究结果表明,随Y2O3和Al2O3的含量的增加,双金属复合衬板的致密度明显提高,强度明显上升。
双金属复合衬板是以钢板为基础,以碳为主要添加元素的铁碳合金。含碳量低于2.11%的铁碳合金称为钢,其他主要元素还有硅、锰、硫、磷等。钢具有良好的物理、机械和工艺性能,主要表现在以下六个方面:
1、屈服点(σs)
双金属复合衬板或试样在拉伸时,当应力超过弹性极限,即使应力不再增加,而双金属复合衬板或试样仍继续发生明显的塑性变形,称此现象为屈服,而产生屈服现象时的小应力值即为屈服点。
2、 屈服强度(σ0.2)
有的金属材料的屈服点极不明显,在测量上有困难,因此为了衡量材料的屈服特性,规定产生 残余塑性变形等于一定值(一般为原长度的0.2%)时的应力,称为条件屈服强度或简称屈服强度σ0.2 。
3、抗拉强度(σb)
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