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关于净化工程(洁净室)造价的影响因素也存在着多个方面。温湿度洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,盐城净化工程,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。无尘净化工程中,材料的选用非常重要,合理的选择会起到很好的作用,再次阐述有关选择无尘净化工程装修材料的要求:无尘净化车间在室内装修设计中。
净化工程中空气净化处理方案,净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高1效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高1效空气过滤器代高1效空气过滤器。净化空气调节系统如需电加热时,净化工程公司,应选用管状电加热器,位置应布置在高1效空气过滤器的上风侧,并应有防火措施。送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、高1效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。净化空气调节系统设计应合理利用回风,凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求。
净化间、洁净间的维护。为确保净化效果,洁净区域回风过滤网、排风过滤网的清洗至少每周1次,对于污染概率较大的区域以尽量做到3日1次。(2)室外新风过滤网、排风口过滤网的清新至少每月1次。清扫过滤网时将室外防雨百叶窗拿下,清洗内部过滤网,若不能取下的过滤网,应用干净的扫帚清扫或抹布擦拭。(3)去污区域新风机组冷冻水管过滤器应定期清理,建议至少每季度1次。(4)净化机组过滤器做到及时清理更换。初效过滤器每月清理1次,半年更换1次,中效过滤器半年更换1次,过滤器每年更换1次。(5)为节约能源,净化工程的冷热源采取双路,即分别由锅炉房、中央空调和净化空调提供。换季时净化机组冷热源的切换,即春秋季使用室外净化空调独立模块机,冬夏季使用锅炉房、中央空调系统。
避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。要保证送风洁净度符合要求,关键是净化系统末级过滤器的性能和安装。要保证送风洁净度,仅有合格的过滤器是不够的,还要保证。净化车间工程要获得良好的洁净效果,不仅要着重采取合理的空调净化措施,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施:不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及正确的使用净化车间和科学的维护管理。为使洁净室获得良好的效果,国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。
净化工程中实际上,不同专业之间很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况,尤其后者。就净化车间净化措施而言,许多设计者,或者还有施工方,往往对其必要条件未予足够重视,造成洁净效果不理想。本文仅就净化车间净化措施中达到洁净度要求的四个必要条件简要论述。要做到第a,则要求施工安装人员训练有素,既要有安装净化系统方面的知识,又要具备较熟练的安装技能,否则将难以保证不损坏过滤器,这方面是有深刻教训的。其次,安装严密性问题,主要取决于安装结构型式优劣,设计手册,一般:对于单个过滤器采用明装型式,这样即便发生渗漏,也不致漏到室内;采用成品送风口,严密性也比较容易得到保证。对于多个过滤器的风□,近几年常采用液槽密封和负压密封。液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上。负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态,与明装型式一样即使渗漏也不会漏到室内。
净化系统末级过滤器一般采用过滤器或亚过滤器。这里每个净化度级别似乎都有两类过滤器可供选择,选择高性能的还是低性能的,要视具体情况而定:当环境污染严重,或室内排风比例很大,或该净化车间特别重要,需要较大系数,在这些或其中之一情况下,均要选择高一类过滤器;反之可选择较低性能过滤器。对0.1μm粒子要求控制的净化车间,不论控制的粒子浓度高低均要选择D类过滤器。以上所述仅从过滤器角度出发,实际上要选择好过滤器还要考虑净化车间特性、过滤器特性和净化系统特。净化车间工程的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对加工物的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流。
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