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随着超大规模集成电路的特征线宽不断减小,导致信号传输延时、功耗增大以及互连阻容耦合增大等问题,为了解决这一问题,多孔低(超低)k介电材料越来越引起人们的注意。通过在前驱气体D5源中添加甲烷,由ECRCVD沉积技术制备出了SiCOH薄膜,由于在SiCOH低k薄膜的致孔工艺及后道工艺中,薄膜需要经受400~450℃的热冲击,因此首先对不同甲烷流量下真空退火前后薄膜的结构、表面形貌和湿水性进行了研究。在真空热处理过程中,热稳定性较差的碳氢基团发生了热解吸,使Si-O-Si网络结构以及链式结构发生交联而形成鼠笼结构,从而提高了薄膜中孔隙的含量,并使薄膜表面更平整。但是,由于碳氢基团的热解吸以及结构的重组降低了薄膜的厚度,并且热解吸还导致薄膜的疏水性能降低。其次真空热处理降低了薄膜的漏电流,并且使SiCOH/Si界面的界面态发生改变。良好的耐冲击性
耐磨复合钢板的基板为低碳钢或低合金。不锈钢等韧性材料,体现双金属的优越性,耐磨层抵抗磨损介质的磨损,基板承受介质的载荷,因此有良好的耐冲击性。可以承受物料输送系统中承受高落差料斗等冲击和磨损。
较好的耐热性
合金耐磨层使用在≤600℃工况下使用,若在合金耐磨层中加入钒,钼等合金,可以承受≤800℃的高温磨损。
使用温度如下:
普通碳钢基板不高于380℃工况使用;
低合金耐热钢板(15CrMo,12Cr1MOV等)基板不高于540℃工况使用;
耐热不锈钢基板在不高于800℃工况使用。
好的耐腐蚀性
耐磨复合钢板的合金层中含有高百分比的金属铬,故具有一定防锈和耐腐蚀能力。用于落煤筒和漏斗等场合可以做到防止粘煤。
耐磨钢板应用范围
1、火电厂:中速磨煤机筒体衬板,风机叶轮窝壳,除尘器入口烟道,灰渣导管,斗轮机衬板,分离器连接管,碎煤机衬板, 煤斗及破碎机衬板,燃烧器烧嘴,落煤斗和漏斗衬板,空预器支架护瓦,分离器导向叶片。上述零部件对耐磨钢板的硬度和耐磨 强度没太高的要求,厚度6-10mm的耐磨钢板。2、煤场:送料槽及漏斗内衬,料斗衬套,风机叶片,推料机底板,焦炭导向器衬板,球磨机内衬,钻头稳定器,螺旋加料器 料钟及基座,揉捏机铲斗内衬,环形送料器、翻斗车底板。煤场作业环境恶劣,对耐磨钢板的耐腐蚀性和耐磨强度有一定的要求 ,厚度8-30mm的耐磨钢板。
3、水泥厂:溜槽内衬,末端衬套,旋风收尘器,选粉机叶片和导向叶片,风扇叶片及内衬,回收斗内衬,螺旋输送机底板, 管道组件,熔块冷却盘内衬,输送槽衬板。这些部件也需要耐磨性、耐腐蚀性要好一点的耐磨钢板,厚度8-30mm的耐磨钢板 。
4、装载机械:卸轧机链板,料斗衬板,抓斗刃板,自动翻斗车翻斗板,自卸车车身。这就需要耐磨强度和硬度极高的耐磨钢 板,在25-50MM的耐磨钢板。
5、矿山机械:矿料、石料破碎机衬板、叶片,输送机衬板、挡板。此类部件需极高的耐磨性,厚度在10-30mm的耐磨钢板 。
6、建筑机械:水泥推料机齿板,混凝土搅拌楼、搅拌机衬板,除尘器衬板,制砖机模具板。厚度10-30mm的耐磨钢板。
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